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規格

格式		Cross
製程		Photolitography
基底		Soda lime glass
外層	(mm)	Chrome
線間距	(mm)	-
線寬	(mm)	0.05
幾何精度	(µm)	2
邊緣銳度	(µm)	1.4
LTPRHP3W、LTPRXP投影儀（圓形孔徑）
有源區 Ø	(mm)	11
線條數		-
最大線長	(mm)	11
LTPRSMHP、LTPRSMHP3W投影儀（方形孔徑）
有源區	(mm x mm)	8 x 8
線條數		-
線長	(mm)	8
機械規格
直徑	(mm)	21
厚度	(mm)	1.6 ± 0.2
質量	(g)	5

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